電感耦合等離子體光譜儀發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內(nèi)部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內(nèi)有三個(gè)同軸氬氣流經(jīng)通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。
電感耦合等離子體光譜儀的重點(diǎn)維護(hù)部件
1 環(huán)境
本儀器要求一般室溫維持在 20～25 攝氏度之間的一個(gè)固定溫度，溫度變化應(yīng)小于±1 攝氏度。室內(nèi)濕度應(yīng)小于 70%，好控制在 45%~60%之間，并配有空氣凈化裝置。
2 供電線路
為了保證ICP 儀的安全運(yùn)行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運(yùn)行時(shí)線路的電壓將過大，影響儀器壽命。電路環(huán)境的具體要求請(qǐng)參考《儀器安裝條件》。
3 防塵
實(shí)驗(yàn)室內(nèi)需要采用排風(fēng)機(jī)，排除儀器的熱量及工作時(shí)產(chǎn)生的有毒氣 體時(shí)，實(shí)驗(yàn)室與外部就形成壓力差， 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生負(fù)壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內(nèi)，大量積聚在儀器的各個(gè)部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，需要經(jīng)常進(jìn)行除塵。特別是計(jì)算機(jī)、電子控制電路、高頻發(fā)生器、顯示器、打印機(jī)、磁盤驅(qū)動(dòng)器等，定期拆卸或打開， 用小毛刷清掃，并同時(shí)使用吸塵器將各個(gè)部分的積塵吸除。對(duì)光電倍增管負(fù)高壓電源線、及計(jì)算機(jī)顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許*小心的抹除積炭和灰塵。磁盤驅(qū)動(dòng)器及打印機(jī)清出灰塵之后，要在機(jī)械活動(dòng)部件滴加少許儀表油。打印機(jī)的打印頭還要拆下，用軟毛刷刷掃，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞，然后按照說明書調(diào)整一定的打印壓力。對(duì)于儀器除塵，一般由電子，儀修或計(jì)算機(jī)的專業(yè)人員幫助，儀器使用或管理人員如不懂電子知識(shí)，不了解儀器結(jié)構(gòu)，不要輕易觸動(dòng)，以免發(fā)生意外，除塵應(yīng)事先停機(jī)并關(guān)掉供電電源后再進(jìn)行。
4 霧化器的維護(hù)
霧化器是進(jìn)樣系統(tǒng)中脆弱，關(guān)鍵的部份，需要很好的維護(hù)和使用。要定期的清理，特別是測(cè)定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會(huì)積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是測(cè)定強(qiáng)度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會(huì)影響點(diǎn)燃等離子體焰炬和保持穩(wěn)定，也影響反射功率，
因此，要定期用酸洗，水洗，后，用無水乙醇潤(rùn)洗并吹干，并保持進(jìn)樣系統(tǒng)及炬管的清潔。
5 使用中盡量減少開停機(jī)的次數(shù)
開機(jī)測(cè)定前，必須做好安排，事先做好各項(xiàng)準(zhǔn)備工作，切忌在同一段時(shí)間里頻繁開啟，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因?yàn)閮x器在每次開啟的時(shí)候，瞬時(shí)電流大大高于運(yùn)行正常時(shí)的電流，瞬時(shí)的脈沖沖擊，
容易造成功率管、真空電容以及其他芯片的損傷。
6 其他注意事項(xiàng)
(1)進(jìn)樣前進(jìn)樣系統(tǒng)的檢查；
(2)測(cè)定后進(jìn)樣系統(tǒng)的檢查和清洗；
(3) 廢液桶中的廢液要經(jīng)常清理；
(4)炬管，霧化器，霧室的清洗；
(5)冷卻水的定期更換；
(6) 每次開機(jī)前請(qǐng)注意：當(dāng)?shù)入x子氣小于 1Mpa，只能點(diǎn)火一小時(shí)時(shí)，建議請(qǐng)更換氣瓶；
(7) 儀器點(diǎn)燃后不能隨便調(diào)整等離子氣的流量計(jì)和壓力表，否則會(huì)燒壞石英炬管；
(8) 儀器點(diǎn)燃后進(jìn)樣毛細(xì)管必須放在溶液中，更換溶液時(shí)毛細(xì)管離開液體(進(jìn)空氣)不能超過 10 秒， 否則會(huì)導(dǎo)致熄火；
(9) 如發(fā)現(xiàn)石英炬管內(nèi)很臟時(shí)請(qǐng)及時(shí)清洗；
(10)拆裝炬管、噴霧器、霧室時(shí)注意輕拿輕放(石英玻璃制品易碎)。
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